HO-TH-05C带有紫外线固化系统台式旋涂机
Holmarc的旋涂装置,型号:HO-TH-05C在设计上比型号:HO-TH-05具有许多其他功能。
在这种旋涂机模型中,每当需要固化和干燥涂层时,都会使用UV LED固化系统。它还提供了气体吹扫设施,用于在腔室内额外提供气体。真空吸盘提供平坦,坚固的表面,用于安装不同尺寸和形状的基板。由无油真空泵驱动的真空吸盘将基材固定在旋转头上。内置的样品分配系统(可选附件)有助于提供毫升量的挥发性溶液。注射器支架的高度可以调节,并可以沿着支撑杆自由旋转。提供了所有必需的安全措施,以防止高速旋转和溢出。它还提供排水设施。
特点 |
卡盘直径:10mm,22 mm,35 mm LED的UV固化选项-波长:405 nm
惰性气体吹扫的入口和出口,6mm的管子 |
应用领域 |
旋涂在有机电子,纳米技术,半导体工业和其他工业领域无处不在。 旋涂广泛用于使用溶胶-凝胶前驱体在玻璃或单晶衬底上的功能性氧化物层的微细加工,可用于制造具有纳米级厚度的均匀薄膜。它广泛用于光刻中,以沉积约1微米厚的光刻胶层。 |
执行器 |
无刷直流电机 |
纺丝速度 |
60-9999 rpm |
基板直径 |
30毫米至70毫米 |
电源输入 |
230V,50Hz |
控制 |
20 x 4线LCD |
旋转室 |
尼龙 |
加速 |
5-2000 rpm /秒 |
转速精度 |
<5% |
可编程参数 |
速度,加速度,停留时间和步数 |
最大步数(可编辑程序) |
每个程序可设9步 |
程序记忆 |
9个程序(非易失性) |
尺寸 |
400mm深度x 275mm宽x 500mm高 |
重量(约) |
34公斤 |
可选配件 |
数字移液器,用于将液体分配到基质中。 支架用于固定手动移液器。 真空适配器,用于固定直径范围为30 mm-100 mm的培养皿 机械夹或锁,用于在没有真空的情况下固定样品 |
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联系人:韩经理 Adahan
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