Holmarc的旋涂机与手套箱兼容,型号:HO-TH-05G是专用系统,适用于手套箱内部,用于在旋压工艺参数得到良好控制的研究实验室中旋涂小基材。该模型提供了独立的控制器,该控制器具有用户友好的前面板,该面板具有用于编程旋转过程的键盘和LCD。因此,用户可以在远程位置操作旋涂机。有两种启动和停止开关,可以在手套箱内或使用控制器打开或关闭旋涂机。旋转持续时间,旋转速度,加速度等都是通过控制器前面板的可编程参数。旋转头执行器是具有精确速度和加速度控制的精密直流伺服电机。由无油真空泵驱动的真空吸盘将基材固定在旋转头上。
尼龙制成的旋转腔非常紧凑,占地面积仅为296 x 266 mm,易于安装到手套箱中。腔室顶部的透明盖通过将分离出的溶液保留在内部来保护周围环境。设备中的所有组件均受到腐蚀保护,使其与清洁的手套箱兼容。
特点 |
卡盘直径:10mm,22 mm,35 mm
工作腔上方透明的安全盖 |
应用领域 |
旋涂在有机电子,纳米技术,半导体工业和其他工业领域无处不在。 旋涂广泛用于使用溶胶-凝胶前驱体在玻璃或单晶衬底上的功能性氧化物层的微细加工,可用于制造具有纳米级厚度的均匀薄膜。它广泛用于光刻中,以沉积约1微米厚的光刻胶层。 |
执行器 |
无刷直流电机 |
纺丝速度 |
60-9999 rpm |
基板直径 |
30毫米至70毫米 |
电源输入 |
230V,50Hz |
控制 |
20 x 4线LCD |
旋转室 |
尼龙 |
加速 |
5-2000 rpm /秒 |
转速精度 |
<5% |
可编程参数 |
速度,加速度,停留时间和步数 |
最大步数(可编辑程序) |
每个程序可设9步 |
程序记忆 |
9个程序(非易失性) |
尺寸 |
400mm深度x 275mm宽x 500mm高 |
重量(约) |
34公斤 |
可选配件 |
数字移液器,用于将液体分配到基质中。 支架用于固定手动移液器。 机械夹或锁,用于在没有真空的情况下固定样品 |
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联系人:韩经理 Adahan
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