Holmarc的旋涂机,型号:HO-TH-05是专用的台式系统,用于在旋压工艺参数得到良好控制的研究实验室中旋涂小基材。高速和持续时间范围允许用户获得所需的薄膜厚度或厚度。旋转头执行器是一种精密的直流伺服电机,需要较少的维护,并具有精确的速度和加速度控制。由无油真空泵驱动的真空吸盘将基材固定在旋转头上。
该设备具有用户友好的前面板,该面板具有用于编程旋转过程的键盘和LCD。旋转持续时间,旋转速度,加速度等都是可通过前面板进行编程的参数。由于程序存储器是非易失性的,因此在断电时不会丢失所记录的参数。该模型配备有9个预设的可编辑程序的存储器,每个程序有9个步骤。
旋涂是用于将均匀薄膜沉积到平坦基板上的最常见技术之一。它被广泛用于各种行业和技术领域。旋涂的优势在于它能够快速,轻松地生产非常均匀的薄膜,厚度范围从几纳米到几微米。
在这种技术中,少量涂料涂覆在基材的中心,基材要么以低速旋转,要么根本不旋转。然后,使基材高速旋转,以便通过离心力使涂料散布。旋转继续进行,同时流体从基板的边缘旋转,直到达到所需的薄膜厚度。所施加的溶剂通常是挥发性的,并且同时会蒸发。因此,旋转的角速度越高,薄膜越薄。膜的厚度还取决于溶液和溶剂的粘度和浓度。
特点 |
卡盘直径:10mm,22 mm,35 mm |
应用领域 |
旋涂在有机电子,纳米技术,半导体工业和其他工业领域无处不在。 旋涂广泛用于使用溶胶-凝胶前驱体在玻璃或单晶衬底上的功能性氧化物层的微细加工,可用于制造具有纳米级厚度的均匀薄膜。它广泛用于光刻中,以沉积约1微米厚的光刻胶层。 |
执行器 |
无刷直流电机 |
纺丝速度 |
60-9999 rpm |
基板直径 |
30毫米至70毫米 |
电源输入 |
230V,50Hz |
控制 |
20 x 4线LCD |
旋转室 |
尼龙 |
加速 |
5-2000 rpm /秒 |
转速精度 |
<5% |
可编程参数 |
速度,加速度,停留时间和步数 |
最大步数(可编辑程序) |
每个程序可设9步 |
程序记忆 |
9个程序(非易失性) |
尺寸 |
400mm深度x 275mm宽x 500mm高 |
重量(约) |
34公斤 |
可选配件 |
数字移液器,用于将液体分配到基质中。 支架用于固定手动移液器。 真空适配器,用于固定直径范围为30 mm-100 mm的培养皿 机械夹或锁,用于在没有真空的情况下固定样品 |
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