Holmarc的SILAR涂层系统经过精心设计,可实现整个过程的自动化,从而避免操作员疲劳和与其相关的错误。在手动SILAR过程中,操作员必须执行数百次重复浸入溶液和水中的操作。在持续数小时的手动过程中,控制浸入时间和浸入次数非常困难。在自动化单元中,操作员只需将基板夹紧到支架中,并以所需的浸入周期和持续时间对控制器进行编程。
具有电动基板支架,可以为每个烧杯进行设置浸渍速度,搅拌速度,浸渍持续时间,检索速度和持续时间干燥。可以将六个加热板分别设置在不同的温度下(最高温度为350°C)。
在该技术中,按照连续离子层吸附和反应(SILAR)的化学技术,将薄膜沉积在玻璃基板上。该技术涉及将基材多次浸入给定的溶液和去离子水中,两者的温度会因情况而异。
执行器 |
步进电机 |
驱动机构 |
导螺杆 |
浸洗时间 |
0-99秒/分钟/小时 |
浸数 |
1-999 |
热板温度 |
环境温度-350°C |
搅拌速度 |
可调0-200 rpm |
PC连接 |
串口(RS 232) |
行程 |
75毫米 |
电源输入 |
230V,50Hz |
烧杯位置数 |
8 |
可以装载样品数量 |
5 |
程序数 |
5 |
重量(约) |
76公斤 |
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