沉积薄膜的现代方法之一是连续离子层吸附和反应(SILAR)方法,也称为化学浴沉积的改进版本。由于它是化学方法,因此可以涂覆多种基材。
Holmarc的SILAR涂层系统经过精心设计,可实现整个过程的自动化,从而避免了操作员的疲劳和与其相关的错误。在手动SILAR过程中,操作员必须执行数百次重复浸入溶液和水中的操作。在持续数小时的手动过程中,控制浸入时间和浸入次数非常困难。在自动化单元中,操作员只需将基板夹紧到支架中,并以所需的浸入周期和持续时间对控制器进行编程。
执行器 |
步进电机 |
驱动机构 |
导螺杆 |
浸洗时间 |
0-99秒/分钟/小时 |
浸数 |
1-999 |
热板温度 |
环境温度200°C |
搅拌速度 |
0-999 rpm |
PC连接 |
串口(RS 232) |
行程 |
100毫米 |
电源输入 |
230V,50Hz |
重量(约) |
130公斤 |
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