一、概述
Ossila的UV臭氧清洗机能够去除样品表面的污染物,在数分钟内为您提供超清洁的表面。通过使用大功率紫外线光源,会产生臭氧-然后将表面污染物分解成挥发性化合物。这些挥发性化合物从表面蒸发掉,没有痕迹。此方法可产生接近原子清洁的表面,而不会损坏样品。
二、技术指标
紫外线灯类型 |
人造石英紫外线格栅灯 |
紫外线灯主波长 |
185 nm和254 nm |
紫外线灯尺寸 |
100毫米x 100毫米 |
紫外线灯电流 |
30 mA(恒定) |
254 nm输出强度 |
100 cm距离为20 µW / cm2 |
紫外线灯寿命 |
T80(2000小时); 8-10年的标准日常使用 |
电源供应 |
电源220-240 VAC融合在1A |
可选的AC / AC适配器 |
110伏/ 230伏 |
最长运行时间 |
59分59秒 |
安全特性 |
安全联锁,高温警告,热保险丝 |
基板托盘尺寸 |
100毫米x 100毫米 |
推荐的最大基材尺寸 |
100毫米x 100毫米 |
外形尺寸 |
宽度204毫米 高度227毫米 深度300毫米 |
*请注意,此紫外线臭氧清洗机没有集成的臭氧过滤系统,因此必须在通风橱中运行。
紫外线灯光谱(发射光谱的相对强度图)
紫外线灯的使用寿命(工作时间内相对强度的小时数图)
三、应用领域
UV臭氧清洁是一种通用技术,可应用于多种材料以提供表面清洁和处理。它也可以用于需要存在臭氧或紫外线的各种其他应用中。以下是可以使用紫外线臭氧清洁处理的常见材料的列表:
石英/玻璃
硅/硅氧化物
金属(例如金,银,钢)
透明导体(ITO,FTO,IZO,AZO)
金属氧化物(例如氧化铝,氧化钛)
III-V半导体(例如砷化镓,氮化硅)
AFM / STM探针
光学元件
如果您想知道您的材料是否适合用于紫外线臭氧清洁,请随时通过info@ossila.com与我们联系。
紫外线臭氧清洁是一种通用技术,不仅可以用于多种材料,还可以用于执行各种不同的任务。以下列出了紫外线臭氧处理的一些常见应用:
表面清洁
紫外线固化
表面杀菌
紫外线化学反应
表面处理
去除表面单层
表面氧化
微图案化
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